您此次实验成绩为0，实验成绩及相关数据是否上传至实验空间
不支持当前浏览器/模式，推荐使用Chrome、Firefox、360(极速模式)浏览器。
基于原子力显微镜的微纳刻划加工虚拟仿真实验
实验要求
点击下载：帮助文档
实验报告内容
创建报告时间：
实验名：基于原子力显微镜的微纳刻划加工虚拟仿真实验
分数：
实验结束时间：
1.实验记录
步骤
操作记录
分值
得分
第1步
设备认知：认知AFM主机、隔震台、控制器、探针组件等
4
第2步
硬件操作：原子力显微镜样件装载、探针装夹等考核操作
20
第3步
硬件操作：打开软件、调整激光点
第4步
软件操作：设置探针参数、扫描参数、进针
3
第5步
软件操作：保存形貌图像，分析图像粗糙度
第6步
软件操作：进入微纳刻划Nanoman模式，选择加工方向、加工速度、加工进给量任一控制量设置至少4种加工参数，获得相应加工结果
本次实验完成：
24
第7步
完成实验，关闭软件，关闭控制器
2
2. 实验结果
2.1 加工方坑前表明成像图
2.2 加工所得方坑结构形貌图
2.3 粗糙度测量结果分析
3. 实验分析报告
3.1 实验原理
3.2 实验目的
3.3 实验结果分析
4. 对实验的评价和建议
实验台
实验报告
返回顶部
